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E-CHUCK,上電極、下電極、CR COVER RING,真空電容、CLEAN WAFER,ESC-repair

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—韓國代理商—
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陶瓷加工&改造&清洗、Silicon、石英耗材、CCW、Heater、上下電極
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閥件、電控、Chiller、RPS

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主要為韓國代理商
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Heater 新品、翻修
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陽極處理

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專業代理韓國silicon ceramic Quartz...parts & 在Etch& CVD TEL LAM AMAT皆有實績，已經專業於ETCH E-Chuck & CVD Pendestal

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主力為CERAMIC/ALN:相較於傳統陶瓷(衛浴設備、瓷磚等)，精密陶瓷(Cermaic)具有相當高的化學純度、密度、硬度、強度、韌性、耐腐蝕、耐酸鹼、與絕緣性。目前已經廣泛應用於半導體、面板製程設備中的機械手臂、Chamber內襯、上蓋、與瓷環等。
SILICON 目前半導體元件大多使用碳化矽（Silicon），尤其是數位電子科技幾乎都是建立在矽半導體材料上。矽半導體被廣泛應用的主因，是因為矽的物理特性穩定，而且地球上矽原料的蘊藏量極為豐富；矽的優點非常多，幾乎無法以其他材料來替代，但矽的缺點也隨著光學科技的發展而逐漸浮現。例如Bulk結晶狀態的矽無法發光，因此到目前為止，發光二極體領域幾乎是 等劇毒，而且是蘊藏量有限之Ⅲ—Ⅴ族化合物半導體的天下，如果考慮到未來光學元件與積體電路整合的發展，若能使用矽材料製作發光二極體的半導體雷射，主動元件之間的信號直接利用光線傳輸，不論是材料穩定性或是積體電路之間的整合性功能，都會比其它材料更出類拔萃。

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