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拋光設備

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NT tool

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旭福創建於1987年，專注於電子事業領域，為半導體與相關電子行業的客戶，提供多方面的業務服務。
Kalrez全氟化橡膠，是美國杜邦公司于1968年研發的全班第一個全氟化橡膠。該產品除了具有鐵氟龍優異的耐化學性外，同時還具有橡膠的彈性，卓越的耐熱性和潔淨度，是一項具有革命性意義的產品。
在耐化學性方面，一般氟化橡膠無法造用的醚類、胺基化合物、酮類、氧化劑、強酸和強鹼等環境中，Kalrez都能顯示其穩定性、耐熱性(以JIS K6301等壓縮變化測試結果為基準)方面，Kalrez在300度的高温下也能保持橡膠的彈性特徵。因此Kalrez零件應用作為半導體、化工、食品和醫療製造的密封材料時，它可以延長密封壽命、減少維修成本、減少污染程度。

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• 乾/溼/光洗淨部品
• 檢測/監測設備/部品
• 各式整機設備

化學藥液濃度計
HORIBA的化學藥液濃度計可即時監測不同藥液的濃度，如SC-1、SC-2、SPM、HF等。 此款濃度計可應用於半導體中的清洗或蝕刻製程。化學藥液濃度計可同時測量多達8種不同成份或濃度的藥液（取決於型號規格）。同樣也可以監測單一成份的化學試劑，確保滿足客户製程和設備。所有的產品都保證高精度和高穩定性，客户可選擇不同的化學藥液濃度計，滿足需求。
超高壓微噴射清洗系統 HPMJ (High Pressure Micro Jet Cleaning System)
所謂超高壓微噴射清洗系統，是指將清洗液用泵浦加压、輸送，利用從微型噴射式噴嘴中噴出的微小液滴化的清洗液，對準物件高速噴射的物理清洗系统。以霧化技術的開發為基礎，使清洗液微粒化，利用其碰撞能量進行清洗。採用非接觸式物理清洗，可對亞微米單位的微小顆粒進行清洗。

氣體質量流量控制器 (MFC)
HORIBA-STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客户不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有廣泛的流量範圍，客户可選擇最適合的類型。客户可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣也可提供多種不同的通訊方式，包括類比式、數位式、DeviceNet, 以及PROFIBUS(取決於產品型號)。產品的流量範圍可從微量流量直至超大流量。

精密塗佈系統 (PCS)
分别控制粒子直徑和粒子飛行速度以達到最適當的塗膜技術、利用低壓可以實現更均匀的微粒化的技術，通過與連續穩定供應材料的技術相結合，從而實現納米级的超薄膜乃至數µm级的膜厚。

DUV/EUV (表面改質、親水化)
DUV Lamp是254nm和185nm波長的紫外線，EUV LAMP是172nm波長的紫外線，主要應用於乾洗淨製程上，去除被照射物表面之有機物質。大部分的有機物的化學性結合能量都低於這個值，所以，照射DUV/EUV後，能夠切斷有機物的結合，而被照射的有機物就會產生游離基和激發狀態分子，被照射物表面就具有親水性了。

設備維修 / CKD VEC OverHaul

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• 化學品/漿料品/靶材
• 智慧工廠規劃/設備/部品

1. 天平衡器
2. 科學儀器
3. 工業控制儀器
4. 試驗儀器

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明利科技秉持著服務客戶與結合專業之理念，藉由多年來銷售精密零件，以達成客戶對提升品質及降低成本需求之承諾。

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